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ABOUT MFC
  • 6

    N2 gas MFC에 다른가스를 흘려도 괜찮나요?

    저희 MFC 는 O-ring seal 이기에  가스별로  sealing 하는 O-ring 재질이 정해져있습니다.

    홍보자료실의  카다로그내에 가스별 sealing 을 참고하시기 바랍니다.

    만일 사용하려는Gas 가  가지고 계신 MFC 와 같은 seal일경우

    Conversion factor값을 적용하여 계산하여 사용하시면 됩니다.

    **만일 sealing 이 다를경우 절대 사용하시면 안됩니다. 

  • 5

    가스가 흐르지 않는데 가스 Range를 넘은 signal이 나와요

    MFC sensor 구조는 (-)쪽 온도센서와 (+)쪽온도센사가 평행을 이루고 있는데,

    (-)온도센서쪽이 센싱이 안되면 (+)쪽의 최대값이 출력됩니다.

    제조사에 문의하시기바랍니다.

  • 4

    MFC 가 명령값보다 유량이 적게 나와요.

    MFC 의 사용조건에는 온도, 압력 , 유량 , 이세가지가 고정되어 있어야 합니다.

    처음 조건의 압력보다  사용압력이 너무 높거나 낮으면 이런현상이 발생

    될 수 있습니다.   너무 심한 온도 편차도 기체의 특성상 유량에 영향을 미칩니다.

  • 3

    MFC Controller에서 Flow 가 없는데도 signal 이 나와요.

    세가지 경우가 있습니다.

    1. 0 점이 흔들렸을경우.
     
           - 0 점은 현장에서 유저가 직접 조절가능합니다.
     
    2.  Line leak 가 발생했을경우.

           - MFC 밸브조립 불량으로 제조사에 문의하시기바랍니다.


    3.  Noise에  의한경우.

            -  대부분의 노이즈에는 영향이 없지만 Cable 및 MFC Controller를 타고
                들어오는 노이즈가 발생될수 있습니다.
     

  • 2

    MFC 에서 가스는 나오는데 Signal 이 나오지 않아요.

    이경우는 주로 Sensor 내부 오작동이거나. Cable 결선이 잘못 되었을시 발생됩니다.

  • 1

    MFC Flow 명령을 주었는데 가스가 흐르지 않아요.

    1 .  가스봄베이의 가스밸브가 열려있는지 가스는 충분한지 확인한다.

    2 .  MFC Controller 와 MFC간의 Cable 의 결선도가 맞는지 확인한다.

    3 .  MFC 후단이 밸브로 잠겨있거나 막혀 있는지 확인한다.

    위 3개 항목에 해당이 없으면 MFC 오작동으로 분류.

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