저희 MFC 는 O-ring seal 이기에 가스별로 sealing 하는 O-ring 재질이 정해져있습니다.홍보자료실의 카다로그내에 가스별 sealing 을 참고하시기 바랍니다.만일 사용하려는Gas 가 가지고 계신 MFC 와 같은 seal일경우Conversion factor값을 적용하여 계산하여 사용하시면 됩니다.**만일 sealing 이 다를경우 절대 사용하시면 안됩니다.
MFC sensor 구조는 (-)쪽 온도센서와 (+)쪽온도센사가 평행을 이루고 있는데,(-)온도센서쪽이 센싱이 안되면 (+)쪽의 최대값이 출력됩니다.제조사에 문의하시기바랍니다.
MFC 의 사용조건에는 온도, 압력 , 유량 , 이세가지가 고정되어 있어야 합니다.처음 조건의 압력보다 사용압력이 너무 높거나 낮으면 이런현상이 발생 될 수 있습니다. 너무 심한 온도 편차도 기체의 특성상 유량에 영향을 미칩니다.
세가지 경우가 있습니다.1. 0 점이 흔들렸을경우. - 0 점은 현장에서 유저가 직접 조절가능합니다. 2. Line leak 가 발생했을경우. - MFC 밸브조립 불량으로 제조사에 문의하시기바랍니다.3. Noise에 의한경우. - 대부분의 노이즈에는 영향이 없지만 Cable 및 MFC Controller를 타고 들어오는 노이즈가 발생될수 있습니다.
이경우는 주로 Sensor 내부 오작동이거나. Cable 결선이 잘못 되었을시 발생됩니다.
1 . 가스봄베이의 가스밸브가 열려있는지 가스는 충분한지 확인한다.2 . MFC Controller 와 MFC간의 Cable 의 결선도가 맞는지 확인한다.3 . MFC 후단이 밸브로 잠겨있거나 막혀 있는지 확인한다.위 3개 항목에 해당이 없으면 MFC 오작동으로 분류.